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HAL : hal-00623656, version 1

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Microcrystalline Silicon at low temperature T<180°C
Tayeb Mohammed-Brahim 1
(01/02/2010)
1 :  Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes (IETR)
CNRS : UMR6164 – Université de Rennes 1 – Institut National des Sciences Appliquées (INSA) - Rennes – SUPELEC – Université de Nantes
Capteurs intégrés (CI)