Mobility behavior in narrow ­-gate FETs devices

R. Ritzenthaleri , C. Dupre , X. Mescot (1) , O. Faynot (2) , T. Ernst (2) , J.C. Barbe , C. Jahan , L. Brevard , F. Andrieux , S. Deleonibus , S. Cristoloveanu (1)

1 IMEP - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

R. Ritzenthaleri, C. Dupre, X. Mescot, O. Faynot, T. Ernst, et al.. Mobility behavior in narrow ­-gate FETs devices. 2006 IEEE Int. SOI Conf, 2006, Grenoble, France. pp.XX. ⟨hal-00146913⟩