Impact of TiN/HfO2 integration on carrier mobility - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

Impact of TiN/HfO2 integration on carrier mobility

M. Cassé
L. Thévenod
  • Fonction : Auteur
B. Guillaumot
  • Fonction : Auteur
L. Tosti
  • Fonction : Auteur
V. Cosnier
  • Fonction : Auteur
J. Mitard
  • Fonction : Auteur
G. Reimbold
  • Fonction : Auteur
T. Billon
  • Fonction : Auteur
M. Mouis
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique
F. Boulanger
  • Fonction : Auteur

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

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https://hal.science/hal-00147173

Soumis le : mercredi 16 mai 2007-09:41:44

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:04:36

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Dates et versions

hal-00147173 , version 1 (16-05-2007)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00147173 , version 1

Citer

M. Cassé, L. Thévenod, B. Guillaumot, L. Tosti, V. Cosnier, et al.. Impact of TiN/HfO2 integration on carrier mobility. Proceedings of MRS Spring Meeting 2006, 2006, San Francisco, United States. pp.XX. ⟨hal-00147173⟩

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