Communication Dans Un Congrès
Année : 2006
LEGI Correspondant HAL 2 : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00204005
Soumis le : vendredi 11 janvier 2008-15:17:26
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:37
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00204005 , version 1
Citer
Tanguy Lévéder, Stéfan Landis, Laurent Davoust, Nicolas Chaix. Resist viscosity measurement for accurate nano-imprint simulation. 32th International Conference on Micro- and Nano-Engineering (MNE 2006), 2006, Barcelona, Spain. ⟨hal-00204005⟩
131
Consultations
0
Téléchargements