Article Dans Une Revue
Semiconductor Technology
Année : 2004
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00385735
Soumis le : mercredi 20 mai 2009-09:05:24
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:44
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00385735 , version 1
Citer
R. Pelzer, P. Lindner, T. Glinsner, B. Vratzov, C. Gourgon, et al.. Nanoimprint lithography - a next generation high volume lithography technique. Semiconductor Technology, 2004, 29 (7), pp.86-91. ⟨hal-00385735⟩
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