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Communication Dans Un Congrès Année : 2006

High resolution UV-Nanoimprinting using thin hard quartz moulds

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00390367

Soumis le : mardi 2 juin 2009-08:14:07

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:44

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00390367 , version 1 (02-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00390367 , version 1

Citer

P. Voisin, M. Zelsmann, C. Gourgon, J. Boussey-Said, G. Cunge. High resolution UV-Nanoimprinting using thin hard quartz moulds. Electron, Ion, and Photon Beam technology and Nanofabrication conference - EIPBN 2006-, May 2006, Baltimore, United States. ⟨hal-00390367⟩

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