SrTiO3/Y2O3 bilayered dielectrics for MIM capacitor elaboration with improved electrical properties - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2006

SrTiO3/Y2O3 bilayered dielectrics for MIM capacitor elaboration with improved electrical properties

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00390510

Soumis le : mardi 2 juin 2009-12:08:54

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00390510 , version 1 (02-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00390510 , version 1

Citer

Myrtil L. Kahn, Corentin Vallée, E. Defay, M. Bonvalot, C. Dubourdieu, et al.. SrTiO3/Y2O3 bilayered dielectrics for MIM capacitor elaboration with improved electrical properties. Workshop on Dielectrics in Microelectronics WoDiM, 2006, Italy. ⟨hal-00390510⟩

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