Structural properties of high k Y2O3 layers prepared by Pulsed injection Plasma - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2002
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00390546 , version 1 (02-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00390546 , version 1

Citer

Corentin Vallée, C. Durand, B. Pelissier, M. Bonvalot, C. Dubourdieu, et al.. Structural properties of high k Y2O3 layers prepared by Pulsed injection Plasma. Présentation MRS 2002 (fall meeting), 2002, Boston, United States. ⟨hal-00390546⟩
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