Poster De Conférence
Année : 2008
Chahla Domenget : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00392103
Soumis le : vendredi 5 juin 2009-15:06:36
Dernière modification le : mardi 23 janvier 2024-15:27:16
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00392103 , version 1
Citer
E. Rauwel, F. Ducroquet, P. Rauwel, M.-G. Willinger, I. Matko, et al.. Carboxylic acids as oxygen supplying agents for ALD of high k thin films. 8th International Conference on Atomic Layer Deposition,, Jun 2008, Bruges, Belgium. 2008. ⟨hal-00392103⟩
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