Non-aqueous Sol-Gel routes applied to atomic layer deposition

E. Rauwel; G. Clavel; M.G. Willinger; P. Rauwel; F. Ducroquet; N. Pinna

Communication Dans Un Congrès Année : 2008

Non-aqueous Sol-Gel routes applied to atomic layer deposition

, , , , (1) ,

1

E. Rauwel

Fonction : Auteur

G. Clavel

Fonction : Auteur

M.G. Willinger

Fonction : Auteur

P. Rauwel

Fonction : Auteur

F. Ducroquet

Fonction : Auteur
PersonId : 171005
IdHAL : frederique-ducroquet
ORCID : 0000-0001-8770-9650
IdRef : 081930062

Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

N. Pinna

Fonction : Auteur

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Chahla Domenget : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00392116

Soumis le : vendredi 5 juin 2009-15:14:19

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:05:11

Dates et versions

hal-00392116 , version 1 (05-06-2009)

Identifiants

HAL Id : hal-00392116 , version 1

Citer

E. Rauwel, G. Clavel, M.G. Willinger, P. Rauwel, F. Ducroquet, et al.. Non-aqueous Sol-Gel routes applied to atomic layer deposition. NanoSpain, Braga, Portugal, Apr 2008, Braga, Portugal. ⟨hal-00392116⟩

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