Thin film fully-depleted SOI four-gate transistors

K. Akarvardar , S. Cristoloveanu (1) , M. Bawedin (1) , P. Gentil , B.J Blalock , D. Flandre

1 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

K. Akarvardar, S. Cristoloveanu, M. Bawedin, P. Gentil, B.J Blalock, et al.. Thin film fully-depleted SOI four-gate transistors. Solid-State Electronics, 2007, 51(2), pp.278-84 (. ⟨hal-00393600⟩