Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 2009
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00394507
Soumis le : jeudi 11 juin 2009-20:51:12
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:19:45
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00394507 , version 1
Citer
N. Kehagias, V. Reboud, J. de Girolamo, M. Chouiki, M. Zelsmann, et al.. Stamp replication for thermal and UV nanoimprint lithography using a UV sensitive silsesquioxane resist. Microelectronic Engineering, 2009, pp.86, 4-6 (2009) 776-778. ⟨hal-00394507⟩
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