Self-assembled block polymer templates as high resolution lithographic masks - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Surface Science : A Journal Devoted to the Physics and Chemistry of Interfaces Année : 2007

Self-assembled block polymer templates as high resolution lithographic masks

Domaines

Matière Condensée [cond-mat] Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] Polymères Génie des procédés Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00394759

Soumis le : vendredi 12 juin 2009-14:10:05

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:53:05

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00394759 , version 1 (12-06-2009)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00394759 , version 1

Citer

K. Aissou, M. Kogelschatz, T. Baron, P. Gentile. Self-assembled block polymer templates as high resolution lithographic masks. Surface Science : A Journal Devoted to the Physics and Chemistry of Interfaces, 2007, pp.601 July (2007) 2611-2614. ⟨hal-00394759⟩

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