Materials science- The cutting edge of plasma etching

Article Dans Une Revue Science Année : 2008

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T. Lill

O. R. Joubert

https://hal.science/hal-00397110

Soumis le : vendredi 19 juin 2009-15:30:03

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:13

hal-00397110 , version 1 (19-06-2009)

T. Lill, O. R. Joubert. Materials science- The cutting edge of plasma etching. Science, 2008, pp.319, 1050-1051, (2008). ⟨hal-00397110⟩

CEA UGA CNRS SIMAP FMNT LTM PLASMA_ETCHING

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