Communication Dans Un Congrès
Année : 2007
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00398866
Soumis le : jeudi 25 juin 2009-09:25:25
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:22
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00398866 , version 1
Citer
Maxime Darnon, T. Chevolleau, T. David, D. Perret, J. Torres, et al.. Dielectric Trenches Patterning: Metallic Vs Organic Hard Mask. Proceeding of MAM, Metal Advanced Metallization (Workshop), 2007, bruges, Belgium. ⟨hal-00398866⟩
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