Communication Dans Un Congrès
Année : 2006
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00400476
Soumis le : mardi 30 juin 2009-18:55:42
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:07
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00400476 , version 1
Citer
T. Chevolleau, G. Cunge, Maxime Darnon, R. Ramos, L. Vallier, et al.. Emerging Application of Fluorocarbon Plasmas for Integrated Circuits Fabrication. 8th International workshop on fluorocarbon plasma, 2006, autrans, France. ⟨hal-00400476⟩
55
Consultations
0
Téléchargements