Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science and Technology
Année : 2010
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00454443
Soumis le : lundi 8 février 2010-15:43:35
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:17:44
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00454443 , version 1
Citer
C. Constancias, B. Dalzotto, P. Michallon, J. Wallace, M. Saib. Fabrication of large area ultrathin silicon membrane: Application for high efficiency extreme ultraviolet diffraction gratings. Journal of Vacuum Science and Technology, 2010, pp.B 28(1), Jan/Feb 2010. ⟨hal-00454443⟩
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