Multi-scale lithography for fabricating extremely periodic micro/nano-droplets and concentric nano-rings by combining block copolymer self-assembly and nano-imprint lithography - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Multi-scale lithography for fabricating extremely periodic micro/nano-droplets and concentric nano-rings by combining block copolymer self-assembly and nano-imprint lithography

R.A Farrell
  • Fonction : Auteur
N. Kehagias
  • Fonction : Auteur
M.T Shaw
  • Fonction : Auteur
T.G. Fitzgerald
  • Fonction : Auteur
V. Reboud
  • Fonction : Auteur
M. Zelsmann
Laboratoire des technologies de la microélectronique
J.D. Holmes
  • Fonction : Auteur
C.M Sotomayor Torres
  • Fonction : Auteur
M.A. Morris
  • Fonction : Auteur

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00455228

Soumis le : mardi 9 février 2010-17:54:55

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:25

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00455228 , version 1 (09-02-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00455228 , version 1

Citer

R.A Farrell, N. Kehagias, M.T Shaw, T.G. Fitzgerald, V. Reboud, et al.. Multi-scale lithography for fabricating extremely periodic micro/nano-droplets and concentric nano-rings by combining block copolymer self-assembly and nano-imprint lithography. Nanoimprint and Nanoprint Technology conference - NNT 2009, Nov 2009, San José, United States. ⟨hal-00455228⟩

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