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Communication Dans Un Congrès Année : 2004

Roles of oxygen plasma and solvent in the interface formation during the pulsed-liquid injection PE-MOCVD deposition of Y2O3 in MIM and MOS structures

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00488319

Soumis le : mardi 1 juin 2010-17:07:34

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:09

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00488319 , version 1 (01-06-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00488319 , version 1

Citer

Corentin Vallée, C. Durand, M. Derivaz, Myrtil L. Kahn, M. Bonvalot. Roles of oxygen plasma and solvent in the interface formation during the pulsed-liquid injection PE-MOCVD deposition of Y2O3 in MIM and MOS structures. AVS, 51h National Symposium AVS, 2004, Anaheim, United States. ⟨hal-00488319⟩

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