CFX kinetics, gas temperature and instabilities in a CF4 inductively coupled discharge - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2001

CFX kinetics, gas temperature and instabilities in a CF4 inductively coupled discharge

J.P Booth
CV
H. Abada
  • Fonction : Auteur
P. Chabert
CV
G. Cunge
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

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https://hal.science/hal-00494528

Soumis le : mercredi 23 juin 2010-14:46:41

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:43

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00494528 , version 1 (23-06-2010)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00494528 , version 1

Citer

J.P Booth, H. Abada, P. Chabert, G. Cunge. CFX kinetics, gas temperature and instabilities in a CF4 inductively coupled discharge. 48th National AVS symposium & Topical conferences, 2001, San Francisco, United States. ⟨hal-00494528⟩

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