Article Dans Une Revue
Microlithography World
Année : 2000
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00494552
Soumis le : mercredi 23 juin 2010-15:22:35
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:43
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00494552 , version 1
Citer
O. Toublan, P. Schiavone, R. Gwoziecki, D. Boutin. Statistical analysis of CD variation across the lens field. Microlithography World, 2000, vol.9, n°2, Spring. ⟨hal-00494552⟩
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