Three-Dimensional Real-Space Simulation of Surface Roughness in Silicon Nanowire FETs

C. Buran (1) , M.G. Pala (1) , M. Bescond (1) , M. Dubois (2) , M. Mouis (1)

1 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
2 TIMA - Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés

Domaines: Autre [cond-mat.other]; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

C. Buran, M.G. Pala, M. Bescond, M. Dubois, M. Mouis. Three-Dimensional Real-Space Simulation of Surface Roughness in Silicon Nanowire FETs. IEEE Transactions on Electron Devices, 2009, 56 (10), pp.2186-2192. ⟨hal-00596081⟩