Synthesis by CVD and characterisation of nanoscale functional films and 1D structures

C. Dubourdieu (1) , E. Rauwel (1) , Y. Lai (2) , O. Salicio (3) , A. Klein (4) , O. Lebedev (5) , G. van Tendeloo (6) , F. Ducroquet (7, 8) , S. Rushworth (9)

1 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
2 Tyndall National Institute [Cork]
3 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
4 Departement of Mathematics
5 EMAT - Electron Microscopy for Materials Research
6 EMAT - Electron Microscopy for Material Resaerch (EMAT)
7 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
8 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
9 EPICHEM - Epichem Oxides and Nitrides

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

C. Dubourdieu, E. Rauwel, Y. Lai, O. Salicio, A. Klein, et al.. Synthesis by CVD and characterisation of nanoscale functional films and 1D structures. Conference workbook, symp H2.1, Jun 2009, Strasbourg, France. ⟨hal-00603716⟩