ESD robustness of FDSOI gated diode for ESD network design: thin or thick BOX?

T. Benoist , C. Fenouillet-Beranger (1) , P. Perreau , C. Buj , P. Galy , D. Marin-Cudraz , O. Faynot (1) , S. Cristoloveanu (2) , P. Gentil

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Domaines: Autre [cond-mat.other]

T. Benoist, C. Fenouillet-Beranger, P. Perreau, C. Buj, P. Galy, et al.. ESD robustness of FDSOI gated diode for ESD network design: thin or thick BOX?. 2010 IEEE International SOI Conference, Oct 2010, San Diego, California, United States. ⟨hal-00604644⟩