Metallic oxygen barrier diffusion applied to high-k deposition WODIM

E. Rauwel (1, 2) , P. Rauwel (2) , F. Ducroquet (3, 2) , I. Matko (2) , A. Lourenço

1 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
2 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Matériaux

E. Rauwel, P. Rauwel, F. Ducroquet, I. Matko, A. Lourenço. Metallic oxygen barrier diffusion applied to high-k deposition WODIM. 16th Workshop on Dielectric Materials, Jun 2010, Bratislava, Slovakia. ⟨hal-00604733⟩