Carboxylic Acids as Oxygen Supplying Agents for Atomic Layer Deposition of Oxide Thin Films

E. Rauwel (1, 2) , F. Ducroquet (3, 2) , P. Rauwel (2) , M.-G. Willinger , I. Matko (2) , N. Pinna (2)

1 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
2 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Autre [cond-mat.other]

E. Rauwel, F. Ducroquet, P. Rauwel, M.-G. Willinger, I. Matko, et al.. Carboxylic Acids as Oxygen Supplying Agents for Atomic Layer Deposition of Oxide Thin Films. Baltic ALD Conference, Jun 2010, Uppsala, Sweden. ⟨hal-00604748⟩