Improved ESD Protection in Advanced FDSOI by SON/Bulk Co-integration - EOS/ESD symposium 2010, september, Anaheim, CA USA

T. Benoist , C. Fenouillet-Beranger (1) , Nicolas Guitard (2) , J.-L. Huguenin , S. Monfray , P. Galy , C. Buj , O. Faynot (1) , F. Andrieu (1) , P. Perreau , D. Marin-Cudraz , S. Cristoloveanu (3) , P. Gentil

1 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

T. Benoist, C. Fenouillet-Beranger, Nicolas Guitard, J.-L. Huguenin, S. Monfray, et al.. Improved ESD Protection in Advanced FDSOI by SON/Bulk Co-integration - EOS/ESD symposium 2010, september, Anaheim, CA USA. 34th Annual EOS/ESD Symposium (EOS/ESD Symposium),, 2010, Anaheim, CA,, United States. ⟨hal-00604950⟩