Dielectric Reliability of 50nm Half Pitch Structures in Aurora® LK - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Japanese Journal of Applied Physics Année : 2009

Dielectric Reliability of 50nm Half Pitch Structures in Aurora® LK

S. Demuynck
  • Fonction : Auteur
H. Kim
  • Fonction : Auteur
C. Huffman
  • Fonction : Auteur
Maxime Darnon
Laboratoire des technologies de la microélectronique
CV
H. .Struyf
  • Fonction : Auteur
J. Versluijs
  • Fonction : Auteur
M. Claes
  • Fonction : Auteur
G. Vereecke
  • Fonction : Auteur
P. Verdonck
  • Fonction : Auteur
H. Volders
  • Fonction : Auteur
N. Heylen
  • Fonction : Auteur
K. Kellens
  • Fonction : Auteur
D. de Roest
  • Fonction : Auteur
H. Sprey
  • Fonction : Auteur
G. Beyer
  • Fonction : Auteur

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https://hal.science/hal-00625298

Soumis le : mercredi 21 septembre 2011-11:49:41

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:43

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00625298 , version 1 (21-09-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00625298 , version 1

Citer

S. Demuynck, H. Kim, C. Huffman, Maxime Darnon, H. .Struyf, et al.. Dielectric Reliability of 50nm Half Pitch Structures in Aurora® LK. Japanese Journal of Applied Physics, 2009, 48, April 2009, 04C018. ⟨hal-00625298⟩

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