Interest of synchronized pulsed plasmas for next CMOS technologies

O. Joubert (1) , Maxime Darnon (1) , G. Cunge (1) , E. Pargon (1) , L. Vallier (1) , N. Sadeghi (2, 1) , T. David (1, 3) , M. Haass (1) , P. Bodart (1) , C. Petit-Etienne (1) , S. Banna , T. Lill

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 LSP - Laboratoire de Spectrométrie Physique
3 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

O. Joubert, Maxime Darnon, G. Cunge, E. Pargon, L. Vallier, et al.. Interest of synchronized pulsed plasmas for next CMOS technologies. China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC) 2011, Mar 2011, Shanghaï, China. ⟨hal-00625345⟩