Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00625350
Soumis le : mercredi 21 septembre 2011-13:18:08
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:21
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00625350 , version 1
Citer
T. Lill, O. Joubert, Maxime Darnon, S. Banna, A. Agarwal. Angstrom Level Resolution Etch. China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), Mar 2011, Shanghaï, China. ⟨hal-00625350⟩
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