Strategies for Patterning Silicon Nanostructures with Diblock Copolymers, in View of Application to Microelectronics and Optoelectronics - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue SCIENCE OF ADVANCED MATERIALS Année : 2011

Strategies for Patterning Silicon Nanostructures with Diblock Copolymers, in View of Application to Microelectronics and Optoelectronics

G. Gay
  • Fonction : Auteur
T. Baron
Laboratoire des technologies de la microélectronique
E. Jalaguier
  • Fonction : Auteur
C. Agraffeil
  • Fonction : Auteur
B. Salhi
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
T. Chevolleau
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
G. Cunge
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique
K. Aissou
  • Fonction : Auteur
B. de Salvo
  • Fonction : Auteur

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00629305

Soumis le : mercredi 5 octobre 2011-15:25:04

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:07

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00629305 , version 1 (05-10-2011)

Identifiants

Citer

G. Gay, T. Baron, E. Jalaguier, C. Agraffeil, B. Salhi, et al.. Strategies for Patterning Silicon Nanostructures with Diblock Copolymers, in View of Application to Microelectronics and Optoelectronics. SCIENCE OF ADVANCED MATERIALS, 2011, pp.3 3. ⟨10.1166/sam.2011.1173⟩. ⟨hal-00629305⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS FMNT LTM NANOMATERIALS
123 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More