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Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Vacuum Ultra Violet emission of HBr, Ar, and He plasmas for the development of 193nm photoresist plasma cure treatments

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00634130

Soumis le : jeudi 20 octobre 2011-13:15:40

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:17:38

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00634130 , version 1 (20-10-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00634130 , version 1

Citer

M. Fouchier, E. Pargon, L. Azarnouche, O. Luere, K. Menguelti, et al.. Vacuum Ultra Violet emission of HBr, Ar, and He plasmas for the development of 193nm photoresist plasma cure treatments. PESM, May 2011, Mechelen, Belgium. ⟨hal-00634130⟩

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