Brevet
Année : 2011
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00647704
Soumis le : vendredi 2 décembre 2011-15:15:32
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:21:41
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00647704 , version 1
Citer
L.A Clevenger, Maxime Darnon, A.D Lisi, S.N. Nitta. Process for reversing tone of patterning on integrated circuit and structural process for nanoscale fabrication. Patent n° : US 2011/0108989 A1 US7939446. 2011. ⟨hal-00647704⟩
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