Brevet
Année : 2010
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00647715
Soumis le : vendredi 2 décembre 2011-15:20:17
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:44
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00647715 , version 1
Citer
S.S. Choi, L.A Clevenger, Maxime Darnon, D.C. Edelstein, S.V. Nitta, et al.. Forming Interconnects with Air Gaps. Patent n° : US7,790,601B1 12/561,651. 2010. ⟨hal-00647715⟩
63
Consultations
0
Téléchargements