Growth and characterization of Au catalyzed SiGe NW and alternatives metals catalyzed Si NW
A. Potié
(1)
,
T. Baron
(1)
,
F. Oehler
(2)
,
P. Gentile
(2)
,
G. Rosaz
(1, 2)
,
B. Salem
(1)
,
L. Latu-Romain
(1)
,
M. Kogelschatz
(1)
,
L. Montès
(3)
,
J. Kreisel
(4)
,
Hervé Roussel
(4)
1
LTM -
Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
4 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
4 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique
T. Baron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739925
- IdHAL : thierry-baron
- ORCID : 0000-0001-5005-6596
- IdRef : 130661813
F. Oehler
- Fonction : Auteur
- PersonId : 180563
- IdHAL : fabrice-oehler
- ORCID : 0000-0003-1020-160X
- IdRef : 146204239
P. Gentile
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170318
- IdHAL : pascal-gentile
- ORCID : 0000-0002-1547-4247
- IdRef : 202987515
B. Salem
- Fonction : Auteur
- PersonId : 174867
- IdHAL : bassem-salem
- ORCID : 0000-0001-8038-3205
- IdRef : 092216625
L. Latu-Romain
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21942
- IdHAL : laurence-latu-romain
- ORCID : 0000-0002-9422-9636
- IdRef : 117889814
J. Kreisel
- Fonction : Auteur
- PersonId : 757246
- ORCID : 0000-0001-8577-1071
Hervé Roussel
- Fonction : Auteur
- PersonId : 738921
- IdHAL : herve-roussel
- ORCID : 0000-0001-6110-5760