Au and alternatives metals for Si and SiGe NW catalyzed growth

T. Baron (1) , A. Potié (1) , L. Latu-Romain (1) , B. Salem (1) , M. Kogelschatz (1) , G. Rosaz (1, 2) , P. Gentile (2) , F. Oehle (2) , L. Montès (3) , J. Kreisel (4) , Hervé Roussel (4)

1 LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique
2 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
3 IMEP-LAHC - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation
4 LMGP - Laboratoire des matériaux et du génie physique

Domaines: Matière Condensée [cond-mat]; Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci]

T. Baron, A. Potié, L. Latu-Romain, B. Salem, M. Kogelschatz, et al.. Au and alternatives metals for Si and SiGe NW catalyzed growth. 5th Nanowire Growth Workshop (NWG 2010), Nov 2010, Rome, Italy. ⟨hal-00650020⟩