Communication Dans Un Congrès
Année : 2000
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00685135
Soumis le : mercredi 4 avril 2012-11:25:15
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:10
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00685135 , version 1
Citer
G. Cunge, J. Foucher, D. Fuard, L. Vallier, O. Joubert, et al.. Mass spectrometry as tool for plasma etching charactérization. XV europhysics conference on atomic and molecular physics of ionised gases, Aug 2000, Miskolc, Hungary. ⟨hal-00685135⟩
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