Stress-induced leakage current and trap generation in HfO2 thin films
C. Mannequin
(1)
,
P. Gonon
(1)
,
Corentin Vallée
(1)
,
L. Latu-Romain
(1)
,
A. Bsiesy
(1)
,
H. Grampeix
,
A. Salaun
,
V. Jousseaume
(2)
L. Latu-Romain
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21942
- IdHAL : laurence-latu-romain
- ORCID : 0000-0002-9422-9636
- IdRef : 117889814
H. Grampeix
- Fonction : Auteur
A. Salaun
- Fonction : Auteur