Comparative study on dry etching of α- and β-SiC nano-pillars - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Materials Letters Année : 2012

Comparative study on dry etching of α- and β-SiC nano-pillars

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00778010

Soumis le : vendredi 18 janvier 2013-15:13:31

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:43

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00778010 , version 1 (18-01-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00778010 , version 1

Citer

J.H. Choi, L. Latu-Romain, Edwige Bano, A. Henry, W.J. Lee, et al.. Comparative study on dry etching of α- and β-SiC nano-pillars. Materials Letters, 2012, pp.87 (2012) 9-12. ⟨hal-00778010⟩

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