Comparative study on dry etching of α- and β-SiC nano-pillars
J.H. Choi
(1)
,
L. Latu-Romain
(1)
,
Edwige Bano
(2)
,
A. Henry
,
W.J. Lee
,
T. Chevolleau
(1)
,
T. Baron
(1)
L. Latu-Romain
- Fonction : Auteur
- PersonId : 21942
- IdHAL : laurence-latu-romain
- ORCID : 0000-0002-9422-9636
- IdRef : 117889814
Edwige Bano
- Fonction : Auteur
- PersonId : 170883
- IdHAL : edwige-bano
- IdRef : 114975981
A. Henry
- Fonction : Auteur
W.J. Lee
- Fonction : Auteur
T. Baron
- Fonction : Auteur
- PersonId : 739925
- IdHAL : thierry-baron
- ORCID : 0000-0001-5005-6596
- IdRef : 130661813