Comparative study on dry ICP etching of α- and β-SiC nano-pillars - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Comparative study on dry ICP etching of α- and β-SiC nano-pillars

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00778025

Soumis le : vendredi 18 janvier 2013-15:26:29

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:01:10

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00778025 , version 1 (18-01-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00778025 , version 1

Citer

J. H. Choi, L. Latu-Romain, Edwige Bano, A. Henry, W. J. Lee. Comparative study on dry ICP etching of α- and β-SiC nano-pillars. ECSCRM (European Conference on Silicon Carbide and Related Materials), Sep 2012, Saint Petersbourg, Russia. ⟨hal-00778025⟩

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