Brevet
Année : 2012
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00808851
Soumis le : dimanche 7 avril 2013-20:10:23
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:19:09
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00808851 , version 1
Citer
Maxime Darnon, J. P. Gambino, E. E. Huang, Q. Lin. Interconnect structure fabricated without dry plasma etch processing. Patent n° : US 8,298,937. 2012. ⟨hal-00808851⟩
40
Consultations
0
Téléchargements