Reversing tone of patterns on integrated circuit and nanoscale fabrication - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2012

Reversing tone of patterns on integrated circuit and nanoscale fabrication

L.A. Clevenger
  • Fonction : Auteur
Maxime Darnon
Laboratoire des technologies de la microélectronique
CV
A. D. Lisi
  • Fonction : Auteur
S. V. Nitta
  • Fonction : Auteur

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00808853

Soumis le : dimanche 7 avril 2013-20:14:14

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-20:52:14

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00808853 , version 1 (07-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00808853 , version 1

Citer

L.A. Clevenger, Maxime Darnon, A. D. Lisi, S. V. Nitta. Reversing tone of patterns on integrated circuit and nanoscale fabrication. Patent n° : US 8,183,694. 2012. ⟨hal-00808853⟩

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