Large-scale processing and graphoepitaxy of PS-b-PDMS - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Large-scale processing and graphoepitaxy of PS-b-PDMS

M. Salaun
Laboratoire des technologies de la microélectronique
CV
S. Vayssières
  • Fonction : Auteur
S. Archambault
  • Fonction : Auteur
M. Zelsmann
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00808933

Soumis le : lundi 8 avril 2013-11:13:36

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:17:14

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00808933 , version 1 (08-04-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00808933 , version 1

Citer

M. Salaun, S. Vayssières, S. Archambault, M. Zelsmann. Large-scale processing and graphoepitaxy of PS-b-PDMS. Workshop on Patterning by Self Assembly and Advanced Self Assembled materials for CMOS applications, Oct 2012, Intel Ireland, Leixlip, Ireland. ⟨hal-00808933⟩

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