PS-b-PDMS nano-imprinting: A path for high throughput ultrahigh resolution lithography
M. Salaun
(1)
,
S. Vayssières
(1)
,
S. Archambault
(1)
,
C. Simao
,
N. Kehagias
,
C. M. Sotomayor Torres
,
O. Lorret
,
D. Borah
,
M. A. Morris
,
M. Zelsmann
(1)
M. Salaun
- Fonction : Auteur
- PersonId : 17040
- IdHAL : mathieu-salaun
- ORCID : 0000-0002-1513-9000
C. Simao
- Fonction : Auteur
N. Kehagias
- Fonction : Auteur
C. M. Sotomayor Torres
- Fonction : Auteur
O. Lorret
- Fonction : Auteur
D. Borah
- Fonction : Auteur
M. A. Morris
- Fonction : Auteur
M. Zelsmann
- Fonction : Auteur
- PersonId : 740118
- IdHAL : marc-zelsmann
- ORCID : 0000-0002-7619-4871
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