Ion flux and ion distribution function measurements in synchronously pulsed inductively coupled plasmas

M. Brihoum; G. Cunge; Maxime Darnon; D. Gahan; O. Joubert; N. S-J. Braithwaite

doi:10.1116/1.4790364

Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science and Technology Année : 2013

Ion flux and ion distribution function measurements in synchronously pulsed inductively coupled plasmas

(1) , (1) , (1) , , (1) ,

1

M. Brihoum

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

G. Cunge

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

Maxime Darnon

Fonction : Auteur
PersonId : 17906
IdHAL : maxime-darnon
ORCID : 0000-0002-6188-7157
IdRef : 124051758

Laboratoire des technologies de la microélectronique

CV

D. Gahan

Fonction : Auteur

O. Joubert

Fonction : Auteur

Laboratoire des technologies de la microélectronique

N. S-J. Braithwaite

Fonction : Auteur

Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00860915

Soumis le : mercredi 11 septembre 2013-14:29:25

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:13

Dates et versions

hal-00860915 , version 1 (11-09-2013)

Identifiants

HAL Id : hal-00860915 , version 1
DOI : 10.1116/1.4790364

Citer

M. Brihoum, G. Cunge, Maxime Darnon, D. Gahan, O. Joubert, et al.. Ion flux and ion distribution function measurements in synchronously pulsed inductively coupled plasmas. Journal of Vacuum Science and Technology, 2013, A 31(2), pp.020604. ⟨10.1116/1.4790364⟩. ⟨hal-00860915⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CEA UGA CNRS FMNT LTM PLASMA_ETCHING

81 Consultations

0 Téléchargements

Ion flux and ion distribution function measurements in synchronously pulsed inductively coupled plasmas

Dates et versions

Identifiants

Citer

Exporter

Collections

Altmetric

Partager