Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science and Technology
Année : 2013
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https://hal.science/hal-00860915
Soumis le : mercredi 11 septembre 2013-14:29:25
Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:13
Citer
M. Brihoum, G. Cunge, Maxime Darnon, D. Gahan, O. Joubert, et al.. Ion flux and ion distribution function measurements in synchronously pulsed inductively coupled plasmas. Journal of Vacuum Science and Technology, 2013, A 31(2), pp.020604. ⟨10.1116/1.4790364⟩. ⟨hal-00860915⟩
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