Communication Dans Un Congrès
Année : 2013
Marielle Clot : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00860934
Soumis le : mercredi 11 septembre 2013-14:53:20
Dernière modification le : lundi 12 février 2024-15:19:09
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00860934 , version 1
Citer
E. Despiau-Pujo, M. Brihoum, G. Cunge, Maxime Darnon, N.S. Braithwaite, et al.. Pulsed ICP chlorine plasmas : Numerical simulations versus Experiments. 4th Workshop on Radio Frequency Discharges, May 2013, giens, France. ⟨hal-00860934⟩
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