Pulsed ICP chlorine plasmas : Numerical simulations versus Experiments - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Pulsed ICP chlorine plasmas : Numerical simulations versus Experiments

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00860934

Soumis le : mercredi 11 septembre 2013-14:53:20

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:09:13

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00860934 , version 1 (11-09-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00860934 , version 1

Citer

E. Despiau-Pujo, M. Brihoum, G. Cunge, Maxime Darnon, N.S. Braithwaite, et al.. Pulsed ICP chlorine plasmas : Numerical simulations versus Experiments. 4th Workshop on Radio Frequency Discharges, May 2013, giens, France. ⟨hal-00860934⟩

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