Pulsed ICP plasmas processing : A combined modelling and experimental study - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Pulsed ICP plasmas processing : A combined modelling and experimental study

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00925794 , version 1 (08-01-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00925794 , version 1

Citer

E. Despiau-Pujo, M. Brihoum, G. Cunge, Maxime Darnon, N.S. Braithwaite, et al.. Pulsed ICP plasmas processing : A combined modelling and experimental study. 31st International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG), Jul 2013, Granada, Spain. ⟨hal-00925794⟩
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