Characterization of imprinted gratings based on transparent materials by transmission scatterometry - FMNT - Fédération Micro- et Nano- Technologies Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microelectronic Engineering Année : 2013

Characterization of imprinted gratings based on transparent materials by transmission scatterometry

D. Pietroy
I. Gereige
  • Fonction : Auteur
C. Gourgon
  • Fonction : Auteur
Laboratoire des technologies de la microélectronique

Marielle Clot  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00941589

Soumis le : mardi 4 février 2014-09:54:21

Dernière modification le : jeudi 4 avril 2024-21:16:44

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00941589 , version 1 (04-02-2014)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00941589 , version 1

Citer

D. Pietroy, I. Gereige, C. Gourgon. Characterization of imprinted gratings based on transparent materials by transmission scatterometry. Microelectronic Engineering, 2013, 106, pp.48-51. ⟨hal-00941589⟩

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